自研半导体设备专用配电与一体化控制系统,适配全流程半导体工艺设备供电与自动化控制需求,是国内首款取得 SEMI 配电相关认证的同类产品,严格遵循行业全套标准。
电源输出高精度、运行稳定性强,保障半导体精密工艺不间断稳定供电。
一体化集成配电、控制模块,设备结构精简,适配产线紧凑布局。
国内首家通过 SEMI 标准认证的配电类产品,完全契合半导体行业规范要求。
深入了解实际需求,明确供/配电目标
专业团队定制方案,提供技术与配置建议
远程监控与定期巡检,快速响应售后支持
覆盖半导体全制造工艺环节,可配套扩散炉、晶圆测试设备、刻蚀设备、薄膜沉积设备等各类半导体工艺生产设备使用。